工作距离最大65mm
测量范围可达10mm
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探头选型 |
6304A17 |
6306A16 |
6308A16 |
6310A15 |
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测量范围 [mm] |
±2 |
±3 |
±4 |
±5 |
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工作距离 [mm] |
65 |
64 |
64 |
63 |
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测量精度[um] |
±0.35 |
±0.45 |
±0.5 |
±0.65 |
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可测倾角 [deg] |
±17º |
±16º |
±16º |
±15º |
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最小光斑直径 [um] |
29 |
30 |
30 |
31 |
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镜头重量 [g] |
450 |
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镜头长度 [mm] |
150 |
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镜头直径 [mm] |
32/47 |
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